Установки сушки НТО 1.00.00.000, 1.00.00.000-01
Установки предназначены для сушки полупроводниковых пластин центрифугированием в среде нагретого азота.
Питание установки осуществляется от сети переменного тока напряжением 220 В частоты 50 Гц.
Карусель, емкость и крышка изготавливаются из полипропилена.
МЕТОД ОБРАБОТКИ
Полупроводниковые пластины обрабатываются групповым методом на карусели в стандартных фторопластовых кассетах: на установке НТО 1.00.00.000 две кассеты для пластин Ø 100 мм или две кассеты для пластин Ø150 мм. На установке НТО1.00.00.000-01 две кассеты для пластин Ø150 или две кассеты для пластин Ø200 мм.
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ
| Габаритные размеры, мм: | |
| длина | 1260 |
| ширина | 675 |
| высота | 1650 |
| Масса, кг, не более | 255 |
| Диаметр обрабатываемых пластин, мм | 100, 150; 150,200 |
| Диапазон регулирования частоты вращения карусели, об/мин. | (100÷ 1200) ±10 % |
| Диапазон регулирования времени технологических операций при сушке, с | 10÷ 999 ±5% |
| Потребляемая мощность, кВт, не более | 1,0 |
Подобные установки поставлены в ОАО «Интеграл», г.Минск
Срок изготовления — 4 месяца ( такой срок изготовления, обусловлен 4-6 недельным сроком по-ставки комплектующих изделий фирмами-изготовителями).
