Установка обработки полупроводниковых пластин в органических растворителях

Установка предназначена для обработки полупроводниковых пластин с использованием органических растворителей.

Питание установки осуществляется от трехфазной, четырехпроводной сети переменного тока напряжением 380/220 В частоты 50 Гц.

Ванны работают в режиме рецикла.

Полупроводниковые пластины обрабатываются групповым методом в стандартных фторопласто-вых кассетах.

В каждой ванне одновременно обрабатываются две кассеты с пластинами Ø 100 мм или одна кас-сета с пластинами Ø150 мм (для ванн обработки в органических растворителях) и две кассеты с пластинами Ø150 мм в остальных ваннах.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

Габаритные размеры, мм
длина	1870
ширина	1050
высота	1610
Масса, кг, не более	500
Диаметр обрабатываемых пластин, мм	100, 150
Температура нагрева реагентов в ваннах обработки в органических растворителях, 0С	(55÷85) ±5
Потребляемая мощность, кВт, не более	7,0
Диапазон времени обработки в каждой ванне, с	5÷ 999

Аналогичная установка поставлена на ОАО «Интеграл», г. Минск