Установка предназначена для выполнения операций химической обработки в подготовке эпи-таксиальных структур кремния к CV-измерениям.
Установка имеет в своем составе две химические ванны, позволяющие проводить обработку кассет с пластинами диаметром до 200 мм, две промывочные ванны с деионизованной водой, поз-воляющие отмывать эти же кассеты и одноместную центрифугу, для индивидуальной сушки пла-стин. Ванны для химической обработки изготовлены из фторопласта, промывочные — из поли-пропилена. Все ванны снабжены крышками. Ванна с перекисью водорода оснащена нагревателем и системой термостатирования, обеспечивающей поддержание в ней заданной температуры в пределах 50-100ºС.
Установка комплектуется блоком фильтрации и подачи химических реагентов (на рисунке не показан).
Заполнение ванн реактивами осуществляется при помощи насосов, расположенных в блоке фильтрации и подачи химических реагентов.. Слив из ванн отработанных реактивов производится при помощи эжектора в химканализацию.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ и КОММУНИКАЦИИ
Диаметр обрабатываемых пластин, мм | 76-200 |
Гарабитные размеры установки, мм (длина - ширина - высота) | 1800 х 800 х 1800 |
Гарабитные размеры блока подачи, мм (длина - ширина - высота) | 1200 х 600 х 1600 |
Потребляемая мощность сети 200 В 50 Гц , не более, КВт | 2,5 |
Деионизованная вода марки «А», давлением 0,2-0,3 мПа, м3/ч | 1 |
Сжатый осушенный и очищенный воздух по ГОСТ 174433-80, по трубопроводу Ду 10мм, давлением, мПа | 0,4-0,6 |
Вода питьевая, давлением мПа | 0,3-0,5 |
Вытяжная вентиляция, м3/ч | 3000 |
Химическая канализация, Ду | 50 |