Установка кислотного травления кремниевых прутков-основ
Установка предназначена для кислотного травления кремниевых прутков-основ с целью обеспе-чения высокой чистоты поверхности перед монтажом их в реактор водородного восстановления для осаждения поликристаллического кремния из парогазовой фазы.
Установка позволяет проводить групповую обработку кремниевых прутков-основ в кассетах. Выполняемые операции: химическое травление в травителе (смесь азотной и плавиковой кислот), прерывание процесса обработкой в «стоп»-ванне, окончательная отмывка деионизованной водой, сушка в токе очищенного воздуха. Установка работает в автоматическом режиме, кассеты с обрабатываемыми изделиями переносятся из ванны в ванну при помощи автооператора. По желанию Заказчика возможно изготовление установки без автооператора, с ручным переносом кассет. Для очистки кислотных вентвыбросов установка комплектуется ионообменным воздушным фильтром типа РИФ-ФК.
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ
Размеры обрабатываемых прутков-основ:
Тип 1. Прямолинейные кремниевые прутки прямоугольного сечения 10 х 10 мм, длиной от 2000 мм до 2400мм.
Тип 2. Прямолинейные кремниевые прутки прямоугольного сечения 10 х 10 мм, длиной от 2000 мм до 2400мм.
Тип 3. Куски поликристаллического кремния произвольной формы, с габаритными размерами от 20 мм до 100 мм.
Тип 4. Стержни кремния поликристаллического цилиндрической формы, с габаритными размерами: диаметр до 125 мм, длина цилиндра до 400 мм.
Тип 5. Кремниевые прутки прямоугольного сечения 10 х 10 мм, длиной от 2200 до 3050 мм. Дан-ный тип сырья представляет собой — два кремниевых прутка сваренные между собой внахлест, длина стыка не превышает 40 мм, количество стыков не более 2-х.
Состав оборудования установки работающей в автоматическом режиме:
- ванна травления 1 шт.
- ванна первичной отмывки 1 шт.
- ванна вторичной отмывки 1 шт.
- зона сушки 1 шт.
- манипулятор 1 шт.
- система приготовления и дозировки раствора кислоты (отдельный мо-дуль) 1 шт.
- система циркуляции деионизованной воды 1 шт.
- дренажная система 1 шт.
- система подготовки воздуха (блоки обеспыливания воздуха) 3 шт.
- фильтр улавливания вентиляционных выбросов типа РИФ-ФК 1 шт.
- автоматическуая система управления (АСУ) 1 шт.
Кассеты:
- 1 тип на 40 прутков 7×7×2200 мм и 20 прутков 7×7×220 мм; 1 шт.
- 2 тип на 40 прутка 10×10×2200 мм и 20 прутков 10×10×220 мм; 1 шт.
- 3 тип на 52 прутка 7×7×2400 мм и 26 прутков 7×7×230 мм; 1 шт.
- 4 тип на 52 прутка 10×10×2400 мм и 26 прутков 10×10×230 мм; 1 шт.
- 5 тип каркас для установки секций с кусковым кремнием. 1 шт.
Габаритные размеры установки , мм - 4200 х 4500 х 2900
Вес, кг - 1500
Две установки поставлены в ЗАО «Усолье-Сибирский силикон», г.Усолье-Сибирское.
Фото 1 - установка кислотного травления кремниевых прутков-основ автоматическая;
Фото 2 - установка кислотного травления кремниевых прутков-основ ручная;
Фото 3 — прутки в технологической кассете.
