Установка травления пластин НТО 43.00.00.000

1. Назначение
1.1. Установка предназначена для прецизионной обработки и травления кремниевых пластин, пластин сапфира, фотошаблонов, стеклянных заготовок для оптических приборов на вращающемся подложкодержателе диаметром 225 мм с душевой подачей на обрабатываемую поверхность травителя, моющего раствора и воды с последующей сушкой изделий центрифугированием.
Подложкодержатель может быть выполнен для фиксации одиночных пластин диаметром 100, 150, 200 мм, фотошаблонов 153 × 153 мм или для группового размещения пластин диаметром 50 мм, квадратных пластин 54 × 54 мм, пластин прямоугольной формы 48 × 60 мм.
1.2. Питание установки осуществляется от электрической сети переменного тока напряжением 220 В частоты 50 Гц. Потребляемая мощность не более 2 кВт;
1.3. Для эксплуатации установки в нее необходимо подать:

1.4. Для эксплуатации установки ее необходимо подключить:

2. Устройство, основные технические данные и характеристики
2.1. Установка представляет собой станину 1 (см. рис.1), на столешнице которой установлены центрифуга 2, контроллер центрифуги 3, контроллер установки 4, кондуктометр «Сириус 2» 5, кнопка аварийной остановки работы 6 Внутри станины смонтированы силовой шкаф 7, три накопительных бака 8 с насосами 9, блок клапанов 10. Справа от станины располагается криотермостат 11. Передняя панель станины слева закрывается дверью 12, а справа съемными листами из оргстекла.
2.2. Состав установки


2.3. Основные технические характеристики
2.3.1. Температура травителя задается в диапазоне 23±2°С и поддерживается с точностью ±0.1°С
2.3.2.Количество одновременно обрабатываемых пластин — сколько разместится на подложкодержателе.
2.3.3.Диаметр подложкодержателя - 250 мм.
2.3.4. Материал станины установки — полипропилен, материал блока травления — фторопласт.
2.3.5. Ёмкость накопительных баков, не менее – 25 л.
2.3.6. Баки имеют горловины для залива свежей порции травителя, ввода подачи травителя на центрифугу, слива травителя.
2.3.7. Применяются травильные растворы двух видов:

2.3.8. В процессе травления травители циркулируют по замкнутому циклу.
2.3.9. Поддержание температуры травителей в баках обеспечивается циркуляцией теплоносителя через криотермостат.
2.3.10. Центрифуга имеет головку подачи травителя в виде душа.
2.3.11. Травление пластин выполняется путем поочередной подачи травителей из накопительных баков с последующей промывкой их деионизованой водой и сушкой на центрифуге.
2.3.12. Скорость вращения столика центрифуги задается в диапазоне 0-3000 об/мин.
2.3.13. Все элементы установки, контактирующие с травителями, выполнены из материалов, стойких к воздействию этих травителей. Крышка центрифуги выполнена из прозрачного кислотостойкого материала.
2.3.14. На сливе в дренаж деионизованой воды установлен датчик удельного сопротивления.
2.3.15. Органы управления клапанами, насосами, и скоростью вращения центрифуги располагаются на столешнице перед центрифугой.
2.3.16. Габаритные размеры установки (ШхГхВ), мм, не более – 1260х800х1200мм.

3. Работа установки
3.1. Вручную отрывается крышка центрифуги и, так же, вручную пластины устанавливается на столик центрифуги. Крышка закрывается и фиксируется защелкой.
3.2. Согласно заданной программе в центрифуге происходит травление, промывка и сушка пла-стин.
3.3. По окончании процесса обработанные пластины извлекается и на их место устанавливаются новые.